真空腔体

锂电腔体

光伏腔体

光学镀膜腔体

ALD腔体

光学镀膜行业应用腔体

可根据客户工艺尺寸、观察窗、接口布局和检漏等级进行定制。

锂电行业应用腔体

适用于热处理、镀膜和实验工艺平台，可配置支架、门体和管路接口。